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占據面板成本1/4的關鍵組件!CF制程、檢測及工藝流程圖匯總

編輯:songqiuxia 2017-11-14 08:51 瀏覽 評論 評論 0 贊    來源:  中華顯示網

  Color Filter(彩色濾光片)是組成面板中最重要的關鍵零組件,占面板制造總成本約四分之一,制造生產方式是在素玻璃基板上用紅、綠、藍色的光阻液原料,用黃光蝕刻方式或是其它技術(如顏料分散或轉印方法)形成與紅、綠、藍三原色的長條形數組的基板。

  當背面的光源穿透每一個畫素(pixel)內的紅、綠、藍濾光片與被電路驅動呈現灰階的液晶后,會變成有不同比例的三種原色(RGB)之混合光。肉眼所看到的彩色影像就是光透過一個個有濾光片的液晶小格子變成之混合光組成的結果。

  所謂的TFT面板制造,簡單的說,就是將一片彩色濾光片和一片有主動矩陣(Active Matrix)的玻璃基板組合,兩邊貼上偏光板,再加上驅動電路及框架的過程。

  CF的種類

  •   Dye (染色法)
  •   Dry Film (色層貼付) – 35KCF
  •   Pigment Dispersion (顏料分散法)

  CF制程

  1.分工概況

  薄膜

  •   BM/ITO sputter
  •   BM photo lithography
  •   BM etching

  黃光

  •   R/G/B photo lithography & cure
  •   Protrution (DD) photo lithography & cure、
  •   Photo-spacer (PS) photo-lithography & cure

  檢測

  •   Defect Inspection
  •   Final Inspection
  •   Repair

  CF制程基本步驟

  正光阻制程 : 光阻照到紫外光的部份會在后續顯影步驟中被移除。如 : BM, DD.

  負光阻制程 :光阻沒照到紫外光的部份會在后續顯影步驟中被移除。如 : R, G, B, PS.

  CF制作流程圖

 

  BM制程

 

  RGB制程(RGB process)

 

  ITO制程

 

  MVA制程

 

  CF Process Flow

 

  最終檢查

  黑色矩陣制程

 

  RGB制程(RGB process)

 

  ITO制程(ITO Sputtering process

 

MVA制程(Multi-domain Vertical Alignment)

  

CF結構

  正視圖

 

  剖面圖

 

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